그래핀 접촉 저항의 최근 동향

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1. 예비 조사

접촉 유형 년도 저항하다 숫자 작가
크롬/골드 2009년 1000 하나 가·나가차오
티타늄/골드 2009년 1000 하나 가·나가차오
너 2009년 500 하나 가·나가차오
티타늄/골드 2010년 800 2 S. 루소
티타늄/알루미늄 2010년 250 2 S. 루소
보장 2011년 110 삼 F. 샤
티타늄/백금/금 2012년 110 4 제이더문
티타늄/골드 UVO 2013년 184 5 남자 이름
Cr/Pd/Au hBN 패키지 에지 접점 2013년 100 6 L. 왕
니켈 에칭 2014년 89 7 W. 리앙
Ti/Au 상단 접점 2016년 95 8 M. 기마랑이스
MoS2, WS2 에지 접점 2016년 30 8 M. 기마랑이스
Pd PVP/PMF 도핑된 에지 접점 2016년 122 9 H. 공원
Cu PVP/PMF 도핑된 에지 접점 2016년 92 9 H. 공원
Ti PVP/PMF 도핑된 에지 접점 2016년 42 9 H. 공원
Au 폴리머 프리(PF) 전사 및 p-도핑 접점 2018년 스물넷 10 황 카이
Au 적층 vdW 하단 접점 2019년 65 11 F. 리우
Au 정전기적으로 도핑된 에지 접점 2019년 45 12 V. 패시
Pd hBN 패키지 표면 접촉 2022년 300 13 S. Lee
Pd hBN 패키지 에지 접점 2022년 125 13 S. Lee
Cr/Pt 하단 접점 2022년 2.82 14 제이 차

2. 연간 동향


3. 결론

'추천 관련글,

  • 지난 15년 동안 그래핀 접촉 저항은 점진적인 감소 추세를 보였고, 지난 5년 동안 급격히 감소하고 있다.

  • 10년 전만 해도 top contact에서 금속만 바뀌었다면, 최근에는 bottom, edge, vdW contact 등 다양한 contact 방식은 물론 lamination, graphene doping, polymer-free 방식, UVO 처리 등 많은 방식이 적용되고 있습니다.

    구현 중입니다.

    개발 중입니다.

    배웠다.

  • 종합하면 접촉 저항의 감소는 다양한 방법이 발견되면서 많은 연구 결과가 축적된 결과라고 생각되며, 기존 FET의 실리콘/실리사이드 접촉 저항이 100 정도임을 감안하면 충분한 수준임을 알 수 있다.

    그 범위 내에서. 가지다.

4. 내 기분

  • 그래핀과 금속의 접촉저항을 연구한 논문은 생각보다 훨씬 적고, 모든 논문의 발표가 중복될 정도로 연구 결과를 공유하고 있다.

  • 그래핀과 메탈타입을 기준으로 접촉저항을 비교하고 싶어서 다른 변수들을 통제한 연구들을 찾아봤지만, 금방 무의미하다는 것을 깨달았다.

  • 대부분의 논문들이 단순히 금속과 실험을 바꾸는 것보다 이전 논문에 발표된 더 나은 방법에 초점을 맞춰 전반적으로 더 나은 방법을 제안하는 경향이 있기 때문입니다.

    (즉, 금속뿐만 아니라 많은 공정, 처리 및 접촉 방법이 변경되었습니다)
  • 종이에 생각보다 오류가 많네요. (기호, 인용오류, 서문)